超低溫R14。R-14制冷劑,別名R14、14、PFC-14,商品名稱有Freon 14等,中文名稱四氟化碳、全氟化碳,英文名稱Carbon Tetrafluoride or Tetrafluoromethane,分子式CF4。R-14屬于fc類物質(zhì)——對沒有破壞、但存在溫室效應;目前對于R14制冷劑的生產(chǎn)、銷售以及在新制冷設備上的初裝、售后設備上的再添加均沒有限制。
目錄
主要用途:理化性質(zhì):包裝運輸:質(zhì)量標準:
r14
R-14作為一款特種超低溫制冷劑,主要應用于要求溫度非常低的深冷設備中(包括科研制冷、醫(yī)用制冷等),R14同時也是超低溫配合的重要組分。四氟化碳(四氟)是目前微電子工業(yè)中用量的等離子蝕刻氣體,其高純氣及四氟甲烷高純氣配高純氧氣的混合氣,可廣泛應用于硅、、、磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻,在表面清洗、太陽能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、氣相絕緣、泄漏檢驗劑、印刷電路生產(chǎn)中的等方面也大量使用。
(Carbon Tetrafluoride or Tetrafluoromethane ),亦稱四氟化碳、全氟化碳,PFC-14(R-14)。分子式:CF4。
相對分子量:88.00。
在常溫下,四氟甲烷是無色、無臭、不燃,不溶于水的可壓縮性氣體。
沸點:-128℃,熔點:-183.6℃。
液體密度(-130℃)1.613g/cm3,臨界溫度-45.67℃,臨界壓力3.74Mpa,蒸氣壓(-150.7℃)13.33kPa,介電常數(shù)(25℃,0.5Mpa)1.0006。揮發(fā)性較高,是穩(wěn)定的有機化合物之一,在900攝氏度時,不與鋼、鎳、鎢、鉬反應,僅在碳弧溫度下緩慢分解,微溶于水,在25攝氏度及0.1Mpa下其溶解度為0.0015%(重量比),然而與可燃性氣體燃燒時, 會分解產(chǎn)生有毒,危險性類別為第2.2類不燃氣體。
四氟甲烷對金屬、合金不腐蝕,可用無縫鋼瓶和鋁合金容器裝運,充瓶壓力通常低于12.5Mpa,按壓縮氣體運輸,鋼瓶每五年檢驗一次,國外規(guī)定可用汽車、火車、輪船和飛機運輸,國內(nèi)目前無規(guī)定。鋼瓶包裝(14MPa)(DOT-3AAGB-5099),閥門(CGA-580/590,QF-2),32kg/48.8L,30kg/43.3L ,5kg/8L,2.5kg/4L。
產(chǎn)品質(zhì)量標準(QUALITY STANDARD FOR CF4)
指標名稱 | 高純級 | 優(yōu)級品 | 一級品 |
,%(v/v),≥ | 99.99 | 99.9 | 99 |
,%(v/v),≤ | 0.002 | 0.03 | 0.3 |
,%(v/v),≤ | 0.0005 | 0.01 | 0.1 |
,,≤ | 5 | 5 | 10 |
,,≤ | 5 | 10 | 800 |
氟化碳,,≤ | 15 | 20 | - |
,(HF)ppm,≤ | 0.1 | 1 | - |
,,≤ | - | - | 600 |
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